基于微梁的面内高g值加速度计设计

作     者：李祥 石云波 董胜飞 李策 赵赟 LI Xiang;SHI Yunbo;DONG Shengfei;LI Ce;ZHAO Yun

作者机构：中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室太原030051 中北大学仪器与电子学院太原030051 

基　　金："十二五"总装备部预研项目 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2014年第27卷第10期

页      码：1310-1314页

摘      要：提出了一种基于微梁的面内高g值加速度计的设计方案。根据材料力学中悬臂梁的相关理论,建立了微梁检测结构的等效模型,推导出了微梁应力和中间主梁应力的比值的表达式。通过改变结构的尺寸来调节比值,可以设计出更高量程和更高灵敏度的压阻式传感器。利用ANSYS软件对微梁和中间主梁的最大应力及电阻区应力进行了仿真分析,验证了设计方案的可行性。完成了一种量程可达15万gn的面内双轴高g值传感器的设计。

主 题 词：面内加速度计 微梁 高灵敏度 高量程 MEMS 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-16992014.10.002

馆 藏 号：203130441...