基于微结构的红外焦平面芯片MTF测试

作     者：张应旭 李培源 司洋 姚亮亮 赵鹏 袁绶章 殷慧 李雄军 ZHANG Yingxu;LI Peiyuan;SI Yang;YAO Liangliang;ZHAO Peng;YUAN Shouzhang;YIN Hui;LI Xiongjun

作者机构：昆明物理研究所云南昆明650223 陆军装备部驻重庆地区军事代表局驻昆明地区第一军代室云南昆明650223 

出 版 物：《红外技术》 (Infrared Technology)

年 卷 期：2024年第46卷第7期

页      码：821-825页

摘      要：调制传递函数是用于评价红外焦平面芯片对不同空间频率目标成像能力的重要参数,焦平面芯片的调制传递函数受像元光敏面尺寸、中心距和载流子扩散长度的影响,随着像元中心距的减小,载流子扩散长度对调制传递函数的影响将更加明显。本文针对倒装互联结构焦平面芯片调制传递函数的测试需求,设计了一种方便、准确的调制传递函数测试方法,通过金属沉积、光刻等工艺在焦平面芯片表面制备特殊的微结构代替倾斜刀口,采用通用的红外焦平面测试系统获得了芯片的调制传递函数。测试结果显示采用该方法能准确方便地完成焦平面芯片的调制传递函数提取,便于焦平面芯片生产和研制单位快速地实现芯片的调制传递函数测试评价及工艺设计验证。

主 题 词：红外焦平面 调制传递函数 倾斜刀口法 微结构 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

馆 藏 号：203130826...