多晶硅流化床气体分布器的设计与优化

作     者：吕子婷 江郡 阚苏玉 姜龙骏 树童 钟宇航 

作者机构：江苏中圣压力容器装备制造有限公司南京211100 

出 版 物：《石油和化工设备》 (Petro & Chemical Equipment)

年 卷 期：2024年第27卷第7期

页      码：97-100页

摘      要：气体分布器是影响多晶硅流化床反应器流化效果的关键内构件。本文全面梳理了多晶硅流化床分布器的设计要点,指出喷嘴的结构形式、分布器开孔率、喷嘴的布置方式和分布板的形式是在设计时需要重点考虑的因素。通过对三氯氢硅流化床反应器的气体分布器进行CFD模拟和优化改造发现,改进喷嘴结构、喷嘴数目和布置方式的优化方案,以及CFD数值模拟的量化分析方法,可以解决三氯氢硅流化床流化不佳,喷嘴堵塞严重的问题。

主 题 词：流化床 气体分布器 喷嘴 多晶硅 流化效果 

学科分类：080706[080706] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1674-8980.2024.07.022

馆 藏 号：203131379...