薄膜生物电极的设计与工艺探讨

作     者：章秀淦 

作者机构：福州大学电子科学系350002 

出 版 物：《电子工艺技术》 (Electronics Process Technology)

年 卷 期：1993年第14卷第6期

页      码：22-24页

摘      要：介绍了利用薄膜混合集成电路技术,设计和制作薄膜生物电极无源元件的方法,以及薄膜导电带淀积的新工艺。

主 题 词：混合集成电路 薄膜导电带 生物电极 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.14176/j.issn.1001-3474.1993.06.007

馆 藏 号：203131553...