关于辅助沉积霍尔离子源的几个问题

作     者：尤大伟 任荆学 黄小刚 武建军 

作者机构：中科院空间科学与应用研究中心北京100080 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2004年第24卷第4期

页      码：279-282页

摘      要：本文目的在于改进霍尔源的设计 ,实现宽能、大束流、低气耗、低污染、能自动化控制的新一代霍尔源。

主 题 词：光学镀膜 离子束辅助镀膜 等离子体加速器 霍尔离子源 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-7126.2004.04.010

馆 藏 号：203131560...