64×64元GaN基紫外图像传感器的设计

作     者：江永清 李应辉 黄烈云 肖灿 叶嗣荣 向勇军 JIANG Yong-qing;LI Ying-hui;HUANG Lie-yun;XIAO Can;YE Si-rong;XIANG Yong-jun

作者机构：重庆光电技术研究所，重庆400060 

基　　金：CCD图像传感器国家级重点实验室 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2005年第26卷第B03期

页      码：70-72,136页

摘      要：介绍了64×64元GaN基紫外图像传感器的结构设计和制作过程，以及需要注意的关键技术。

主 题 词：紫外 图像传感器 GaN AlGaN 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-5868.2005.z1.020

馆 藏 号：203131588...