诺发公司（NOVELLUS）推出业界首套用于90nm以下工艺介电材料处理的UVTP量产系统

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2006年第35卷第1期

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摘      要：全球半导体行业在高级淀积、表面处理和化学机械平坦化工艺等领域的生产力和技术领先企业诺发系统有限公司近日推出了SOLA^TM-业界首套针对先进介电薄膜的淀积后处理的紫外热处理（UVTP）系统。SOLA为Ф300mm晶圆的大批量生产而设计，可以满足下一代消费电了产品必需的新材料和制造技术的需求。

主 题 词：介电薄膜 有限公司 系统 材料处理 工艺 化学机械平坦化 300mm晶圆 套用 制造技术 半导体行业 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

馆 藏 号：203131611...