17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究

作     者：薛玲玲 陈波 尼启良 张华 曹轲 张玲 XUE Ling-ling;CHEN Bo;NI Qi-liang;ZHANG Hua;CAO Ke;ZHANG Ling

作者机构：长春理工大学理学院吉林长春130022 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130033 

基　　金：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新基金支持 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2005年第13卷第2期

页      码：225-230页

摘      要：设计了17.1 nm波段光电成像系统,用于对波长为17.1 nm的极紫外光进行成像。该成像系统分为三大部分:光源、单色仪和探测系统。一个调Q的Nd∶YAG激光器(Continuum 9000)用来产生激光等离子体,掠入射单色仪由2块球面聚焦镜和1块600 L/mm的球面掠入射光栅组成,经单色仪分光后得到波长为17.1 nm的单色光,探测器是微通道板(MCP)和荧光屏组件共同组成,Kodak400 型胶卷被用于记录狭缝的像。结果获得了一宽度为3 mm的狭缝的像,实验测得130μm的成像系统的空间分辨率,好于相同条件下文献[6]的结果。

主 题 词：极紫外 激光等离子体 单色仪 微通道板 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 081002[081002] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-924X.2005.02.017

馆 藏 号：203131612...