采用扩散和阶跃模型分析微型气敏元件时间特性

作     者：邢建平 曾繁太 李娟 赵林 石晓辉 XING Jian-ping;ZENG Fan-tai;LI Juan;ZHAO Lin;Shi Xiao-hui

作者机构：山东大学信息科学与工程学院济南250100 

基　　金：山东省电子发展专项基金项目资助(2003118JNZX) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2005年第18卷第2期

页      码：318-320,324页

摘      要：利用粉末反溅方法研制了酒敏灵敏度>20的性能良好的Si基SnO2/CeO2旁热式气敏元件,给出了重要参数之一的传感特征响应和恢复时间的实验结果,典型的稳态特征响应时间值在2.5s以上,恢复时间在7s以上;提出使用扩散反应模型对特征时间的物理意义及过程分析,在给定的边界条件下进行了解释;同时,建立了一种简单系统阶跃响应数学模型,并结合Matlab软件进行特征响应和恢复时间曲线处理的数学方法;最后,设计了有源串联相位超前微分网络以降低优化特征时间、提高元件响应速度。仿真和结果表明,特征时间显著减小,可提前约40%。

主 题 词：薄膜材料 气敏元件 特征时间 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2005.02.027

馆 藏 号：203131645...