光学读出非制冷红外成像的最新进展

作     者：董凤良 焦斌斌 张青川 陈大鹏 缪正宇 熊志铭 DONG Feng-liang;JIAO Bin-bin;ZHANG Qing-chuan;CHEN Da-peng;MIAO Zheng-yu;XIONG Zhi-ming

作者机构：中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室合肥230027 中科院微电子研究所北京100029 

基　　金：自然科学基金项目(No10472111 10627201) 

出 版 物：《实验力学》 (Journal of Experimental Mechanics)

年 卷 期：2007年第22卷第3期

页      码：401-406页

摘      要：针对以前红外成像中红外图像的噪声等效温度差(NETD)较大和空间分辨率不高的问题,本文在制作工艺改善的基础上,设计了一个单元尺寸分别是50μm×50μm和60μm×60μm的红外焦平面阵列(FPA),它是由0.5μm厚的SiNx和0.2μm厚的Au构成的双材料微悬臂梁阵列构成。微梁单元倾斜角的变化利用在谱平面刀口滤波的光学方法测量。FPA是利用基于体硅的表面微加工工艺制作的,利用制作的FPA的60μm×60μm单元区域和12bitCCD,得到了室温物体的热像。讨论了60μm×60μm单元区域的性能,给出了NETD在100mK左右。和以前的工作相比,红外图像的温度分辨率和空间分辨率都得到了明显改善。

主 题 词：非制冷红外成像 光学读出 焦平面阵列 噪声等效温度差 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 080101[080101] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-4888.2007.03.027

馆 藏 号：203131662...