高压控制装置在多晶硅还原炉的设计及应用

作     者：周龙 张书涛 

作者机构：特变电工新疆硅业有限公司乌鲁木齐市830011 

出 版 物：《石河子科技》 (Shihezi Science and Technology)

年 卷 期：2012年第2期

页      码：38-39页

摘      要：介绍了一种用于多晶硅生产用的还原炉高压控制装置。该装置能够实时检测硅芯中的电流和其变化趋势,自动调整施加在硅芯上的电压,从而实现多晶硅生产中高压控制和预加热阶段的自动化控制,并最终实现与中压加热设备的可靠衔接。

主 题 词：多晶硅 还原炉 高压控制 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1008-0899.2012.02.019

馆 藏 号：203131867...