基于功能结构的MEMS弹簧设计方法

作     者：郑利兵 石庚辰 ZHENG Li-bing;SHI Geng-chen

作者机构：北京理工大学机电工程学院北京100081 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2006年第4卷第2期

页      码：128-131页

摘      要：平面微型弹簧是微机械电子系统(MEMS)中一种常用的弹性元件,其蛄构形状的不同将显著影响其刚度系数．针对在限定空间MEMS弹簧设计这一问题,提出了对弹簧进行结构分解和替换的设计方法．基于力学中的能量法得出了其功能结构形状与刚度系数的关系;理论分析结果表明,功能结构的替换可以实现在限定空间内弹簧刚度系数的改变．用有限元分析软件进行了仿真,其结果和理论分析吻合,验证了这一设计方法的正确性．

主 题 词：微机电系统 弹簧 功能结构 刚度系数 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6030.2006.02.010

馆 藏 号：203131986...