气体质量流量控制器的分流器的设计

作     者：苏乾益 杨桂花 

作者机构：北京七星华创电子股份有限公司北京100015 

出 版 物：《中国仪器仪表》 (China Instrumentation)

年 卷 期：2016年第5期

页      码：66-69页

摘      要：分流器是气体质量流量控制器中的一个重要部件。分流器是否合适将对气体质量流量控制器的性能指标,如精度、线性等重要指标参数有直接的影响。合适的分流器能够改善产品的精度、线性等性能指标;反之,不合适的分流器将会使得产品的精度、线性等指标参数超差,最终导致产品成为不合格品。为解决分流器的设计问题,本文根据流体力学的理论,建立气体质量流量控制器的分流器的数学模型。该模型能够为分流器的设计和计算提供理论依据。

主 题 词：气体 质量流量控制器 分流器 设计 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-2852.2016.05.015

馆 藏 号：203132044...