新型MEMS光学电流传感器的设计

作     者：赵本刚 刘玉菲 徐静 高翔 吴亚明 ZHAO Ben-gang;LIU Yu-fei;XU Jing;GAO Xiang;WU Ya-ming

作者机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60572022) 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2006年第27卷第5期

页      码：534-538页

摘      要：提出了一种用于检测50Hz高压交流电的新型MEMS光学电流传感器。详细介绍了器件的敏感与光学检测原理，给出了器件结构、温度补偿、滤波和工艺的设计过程，并模拟分析了器件在交流电100～3600A下的性能。结果表明：滤波后可得到稳定的测量光信号；温度变化±50K时相应的测试误差为0．2％；器件在大电流下的灵敏度优于0．02dB／A。

主 题 词：微电子机械系统 光学电流传感器 扭转微镜 双光纤准直器 滤波 温度补偿 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-5868.2006.05.008

馆 藏 号：203132100...