新型Nano-CMM二维定位平台研究

作     者：奚琳 余晓芬 范伟 XI Lin;YU Xiao-fen;FAN Wei

作者机构：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院安徽合肥230009 

基　　金：国家自然科学基金国际重大合作资助项目(50420120134) 安徽省高等学校省级重点实验室资助项目 

出 版 物：《合肥工业大学学报（自然科学版）》 (Journal of Hefei University of Technology：Natural Science)

年 卷 期：2006年第29卷第12期

页      码：1605-1608页

摘      要：介绍了一种新型纳米三坐标测量机二维定位平台的结构设计:平台设计了无爬行的磁浮-滑动复合导轨;引入了“共平面“的导向模式,实现近零阿贝误差;并对二维定位平台力平衡和系统热效应作了优化设计。计算和实验结果表明,平台能有效解决低速驱动时的爬行问题,实现微小步距进给,满足微纳米级定位平台的要求。

主 题 词：纳米二维定位平台 磁浮式 共平面 阿贝误差 力平衡 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-5060.2006.12.031

馆 藏 号：203132135...