基于硅基MEMS技术的三维集成宽带延时器

作     者：黄永超 安维乐 赵宇 厉志强 HUANG Yongchao;AN Weile;ZHAO Yu;LI Zhiqiang

作者机构：中国电子科技集团公司第十三研究所河北石家庄050051 

出 版 物：《中国高新科技》 (ZHONG GUO GAO XIN KE JI)

年 卷 期：2024年第11期

页      码：89-91页

摘      要：为满足宽带相控阵天线小型化需求,本文采用微电子机械系统(MEMS)三维异构集成技术,设计了一种宽带四位延时三维集成器。延时器工作频率覆盖8GHz~15GHz,器件内部集成了GaAs芯片、COMS芯片和固定延时器等电路,具有射频信号延时控制、增益补偿和电源同步调制等功能。器件尺寸为20mm×20mm×1.3mm,重量1.35g,背面为接地面,采用微组装粘接方式安装,输入输出端口通过键合线方式连接传输。测试结果表明,硅基延时器工作频段内延时波动量≤3ps,插入损耗≤22dB,端口驻波≤1.5,各延时位态幅度一致性≤±1dB。

主 题 词：延时器 微电子机械系统(MEMS) 三维异构集成 

学科分类：080904[080904] 0810[工学-土木类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 081105[081105] 081001[081001] 081002[081002] 0825[工学-环境科学与工程类] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.13535/j.cnki.10-1507/n.2024.11.24

馆 藏 号：203132152...