基于受力分析的MEMS薄膜系统级模拟方法的研究

作     者：李蓓佳 李伟华 LI Bei-jia;LI Wei-hua

作者机构：东南大学MEMS教育部重点实验室南京210096 

基　　金：国家863项目支持(2006AA04Z302) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2008年第21卷第4期

页      码：607-610页

摘      要：介绍一种MEMS系统级模拟方法。该方法直接分析运动物体的受力情况,并结合能量原理,利用受控源的反馈实现耦合作用,建立机电耦合MEMS薄膜的等效电路模型。利用该等效电路实现对薄膜动态行为的系统级模拟,并将Spice和有限元法,Saber的模拟结果进行对比,验证了该模拟方法应用于二维情况分析的有效性。

主 题 词：MEMS设计 系统级模拟 薄膜 受力分析 等效电路宏模型 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.019

馆 藏 号：203132432...