高结晶度CrN纳米粒子掺杂的DLC薄膜的显微结构及力学性能

作     者：吴忠振 田修波 程思达 巩春志 杨士勤 

作者机构：哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室哈尔滨150001 

基　　金：国家自然科学基金项目10975041 10905013资助 

出 版 物：《金属学报》 (Acta Metallurgica Sinica)

年 卷 期：2012年第48卷第3期

页      码：283-288页

摘      要：采用高功率脉冲磁控放电等离子体注入与沉积(HPPMS-PIID)和常规直流磁控溅射复合的方法设计制备了包含高结晶度的CrN纳米粒子的DLC薄膜,并对不同C靶电流时制备的CrN-DLC薄膜的形貌、结构及性能进行了研究.结果表明,随C靶电流的增加,薄膜中的含C量增加,在较高的C含量时形成了明显的DLC薄膜特征,掺杂相主要成分为高度200择优取向的CrN纳米晶,其最小晶粒尺寸为42.39 nm.薄膜中的C主要以C-sp^2,C-sp^3和CN-sp^3键的形式存在,sp^3键的总含量为sp^2总含量的44.8%.所制备的薄膜具有很好的膜基结合力(临界载荷Lc=66.8 N)和较高的纳米硬度(最高达24.3 GPa).

主 题 词：高功率脉冲磁控放电 类金刚石薄膜 CrN 结晶度 力学性能 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 

核心收录：

D　O　I：10.3724/sp.j.1037.2011.00512

馆 藏 号：203132526...