微光机电系统MOEMS浅说

作     者：张玺锟 

出 版 物：《机械与电子》 (Machinery & Electronics)

年 卷 期：2009年第27卷第2期

页      码：62-62页

摘      要：微光机电系统MOEMS(micro-optical-electro-mechanical-system)来源于微机电系统MEMS技术和微光学技术的不断发展,以其高度的智能化、集成化、微型化,广泛应用于日常生活各领域和高、精、尖装备的设计生产中.

主 题 词：微光机电系统 MOEMS MEMS技术 组织结构 微光学技术 微机电系统 功能目标 组成要素 

学科分类：0711[理学-心理学类] 07[理学] 081104[081104] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0811[工学-水利类] 071102[071102] 081103[081103] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-2257.2009.02.026

馆 藏 号：203132779...