基于MEMS技术的微波(RF)滤波器的设计

作     者：乔东海 Donghai Qiao

作者机构：中国科学院声学研究所北京100080 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2005年第16卷第Z1期

页      码：158-160页

摘      要：微波MEMS(RF-MEMS)滤波器是一种基于硅微加工技术的新型器件.由于RF-MEMS器件具有体积小、承受功率大、性能优良、成本低以及易于与后续的电路集成等突出优点,因此,由薄膜体声波谐振器(FBAR)构成的RF-MEMS滤波器在微波通讯系统的射频前端将取代传统的声表面波(SAW)滤波器.从以MEMS技术制作的薄膜体声波谐振器(FBAR)为基本单元构成梯子式(Ladder type)射频滤波器的原理出发,对滤波器的性能和设计进行分析,并对实际滤波器中的问题进行了较详细的探讨.

主 题 词：射频滤波器 MEMS器件 薄膜体声波谐振器 滤波器设计 

学科分类：080903[080903] 080904[080904] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.053

馆 藏 号：203133043...