基于TMP的透射电子显微镜真空系统

作     者：木南 

出 版 物：《军民两用技术与产品》 (Dual Use Technologies & Products)

年 卷 期：2009年第6期

页      码：30-30页

摘      要：德国卡尔．蔡司半导体有限公司为Libra 120 Plus TEM透射电子显微镜设计了一种完全干燥的、基于涡轮分子泵（TMP）的真空系统。这种重新设计的真空系统，可辅助Libra 120 Plus TEM透射电子显微镜检测纳米尺度材料。

主 题 词：透射电子显微镜 真空系统 TMP Libra Plus 涡轮分子泵 显微镜检测 纳米尺度 

学科分类：07[理学] 080704[080704] 070205[070205] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.19385/j.cnki.1009-8119.2009.06.051

馆 藏 号：203133057...