电子束曝光机复合调整式30kV电源

作     者：陈振生 雷海亮 杨立才 

作者机构：山东工业大学自动化系济南250061 

出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)

年 卷 期：1997年第2期

页      码：14-19页

摘      要：介绍了复合调整式高压电源的总体设计方案，提出实现高压电源高稳定度的关键技术措施。

主 题 词：电子束曝光机 高压电源 复合调整 高稳定度 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

馆 藏 号：203133207...