一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针

作     者：牟旭东 卓永模 杨甬英 

作者机构：浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027 

基　　金：国家自然科学基金 

出 版 物：《光电工程》 (Opto-Electronic Engineering)

年 卷 期：1999年第26卷第3期

页      码：47-52页

摘      要：论证了氮化硅三角形微探针可以作为一个后向点衍射板的光学原理，并根据这一原理设计了一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针，它利用微探针表面几何反射波与后向点衍射波之间的干涉来检测微探针的形变， 其纵向分辨率达到了０．０１ｎｍ 。

主 题 词：扫描力显微镜 衍射干涉 光学探针 变形测量 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

馆 藏 号：203133339...