扭摆式高g值微机械加速度计的设计优化与冲击校准

作     者：陶永康 刘云峰 朱科引 董景新 TAO Yong-kang;LIU Yun-feng;ZHU Ke-yin;DONG Jing-xin

作者机构：清华大学精密仪器系北京100084 

基　　金：国家十二五预研基金资助项目(51309020301) 

出 版 物：《振动与冲击》 (Journal of Vibration and Shock)

年 卷 期：2015年第34卷第1期

页      码：53-57页

摘      要：设计实现了一种扭摆式高g值微机械加速度计。微结构采用十字形扭梁减小横向效应,摆片两侧使用梳齿结构作为止档和阻尼器,6个敏感单元并联的方式提高基础电容量。有限元仿真得到表头谐振频率约为56 k Hz,前两阶模态分离比大于4,高过载能力10万g,微结构灵敏度为8.94E-6p F/g,基于玻璃-硅(Silicon On Glass,SOG)工艺流片后单侧基础电容约为3.6 p F。分析了环形二极管电容检测电路的检测带宽问题,并设计了高g值加速度计的检测电路。搭建了霍普金森杆实验系统进行高g值的冲击校准,2万g范围内非线性度2%,5 V供电下标度因数约为24.5μV/g。

主 题 词：高g值微机械加速度计 扭摆式加速度计 检测读出电路 霍普金森杆 冲击校准 

学科分类：1002[医学-临床医学类] 08[工学] 080401[080401] 081105[081105] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0801[工学-力学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.13465/j.cnki.jvs.2015.01.011

馆 藏 号：203133535...