利用PZT块材制备微型压电悬臂梁采能器的研究

作     者：郑慈航 唐刚 刘景全 李以贵 余震 何丹农 杨春生 ZHENG Cihang;TANG Gang;LIU Jingquan;LI Yigui;YU Zhen;HE Dannong;YANG Chunsheng

作者机构：上海交通大学材料科学与工程学院上海200240 纳米技术及应用国家工程研究中心上海200241 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 南昌工程学院机械与电气学院江西南昌330099 

基　　金：科技部国际合作基金资助项目(2009DFB10330) 上海市国际科技合作基金资助项目(08230705500) 国家自然科学基金资助项目(60876082) 新世纪优秀人才支持计划基金资助项目(2009) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2011年第33卷第3期

页      码：418-421页

摘      要：采用压电陶瓷(PZT)片状块材设计并制作了一种可集成于微机电系统的压电悬臂梁能量采集器。介绍了元件的整体制备流程,包括湿法化学蚀刻、反应离子(RIE)干法蚀刻、UV-LIGA等流片技术。该文利用环氧树脂将PZT紧密粘结在基片上的方法步骤和工艺参数作了详细描述,最终获得了2 000μm×750μm×500μm(长×底宽×尖宽)的梯形悬臂梁结构,PZT层厚度为16.7μm,并在其自由端装配Ni质量块以降低元件的固有频率。通过自搭建的检测系统测得,该能量采集器在1阶谐振工作状态(824.7 Hz,1g加速度强度)下获得了峰-峰值为1 160 mV的输出电压,是利用PZT薄膜制备的同尺寸采能器的2倍。

主 题 词：压电发电 能量采集 PZT块材 微机电系统 

学科分类：080903[080903] 1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2011.03.022

馆 藏 号：203133852...