基于大高宽比CD-AFM探针的设计与制备

作     者：贺龙 李淑娴 苗斌 李加东 陈颖 苗小浦 吴森 HE Long;LI Shuxian;MIAO Bin;LI Jiadong;CHEN Ying;MIAO Xiaopu;WU Sen

作者机构：大连大学机械工程学院辽宁大连116622 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所轻量化实验室江苏苏州215123 中国科学院多功能材料与轻巧系统重点实验室江苏苏州215123 天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072 

基　　金：国家重点研发计划(2021YFB3201600) 国家自然科学基金(面上项目)(62074159) 苏州市科技计划项目(SSD2023001) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2024年第46卷第3期

页      码：409-413,428页

摘      要：针对传统原子力显微镜(AFM)探针和关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)探针受限于针尖有效扫描高度较低,无法对深沟槽和大悬垂侧壁结构进行精准扫描成像的问题,提出了一种大高宽比针尖结构的新型CDAFM探针设计与制备方案。开发的新型CD-AFM探针针尖有效高度为5.1~5.8μm,高宽比达到14,相较于传统硅基CD-AFM探针,其有效高度提升了约4倍。利用开发的探针完成了标称深度为2.3μm、深宽比为4.6的深沟槽样品测试。

主 题 词：关键尺寸原子力显微镜探针 深沟槽 大悬垂侧壁 大高宽比 有效高度 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2024.03.024

馆 藏 号：203133961...