射频螺线管微电感的设计和仿真

作     者：方东明 赵小林 王西宁 周勇 FANG Dong-ming;ZHAO Xiao-lin;WANG Xi-ning;ZHOU Yong

作者机构：上海交通大学微纳科学技术研究院 

基　　金：教育部科学技术研究重大项目资助(0307) 上海-应用材料研究与发展基金资助(0515) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2006年第19卷第5B期

页      码：1878-1880页

摘      要：为了获得高性能MEMS螺线管微电感,考虑了几何结构参数对微电感性能的影响,用HFSS软件对特定结构的微电感进行仿真,仿真结果与实验研制的测量结果基本相符.测试结果表明微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,可以应用在无线通讯领域.

主 题 词：螺线管电感 HFSS 品质因素 射频微机电系统 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.151

馆 藏 号：203133965...