平面无阀微泵的设计与制作

作     者：张宇峰 张国威 刘晓为 陈伟平 王喜莲 王蔚 倪鹤南 ZHANG Yu-feng;ZHANG Guo-wei;LIU Xiao-wei;CHEN Wei-ping;WANG Xi-lian;WANG Wei;NI He-nan

作者机构：哈尔滨工业大学MEMS中心哈尔滨150001 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60276038) 

出 版 物：《哈尔滨工业大学学报》 (Journal of Harbin Institute of Technology)

年 卷 期：2007年第39卷第6期

页      码：936-939页

摘      要：依据扩散口/喷嘴理论,设计了具有单向整流特性的无阀微泵.采用硅平面工艺、各向异性腐蚀、削角补偿和静电键合等微机械加工工艺技术,制作了平面尺寸为18 mm×13 mm的无阀微泵.经过测试,当扩散口/喷嘴长度为2.5μm、扩散口/喷嘴的窄口宽度为150μm、腐蚀深度为150μm时,微泵的最大泵压达14.8 kPa,最大流量为558μL/m in.

主 题 词：扩散口 喷嘴 无阀微泵 微机电系统 

学科分类：0810[工学-土木类] 0711[理学-心理学类] 07[理学] 08[工学] 081104[081104] 0805[工学-能源动力学] 0811[工学-水利类] 0812[工学-测绘类] 071102[071102] 081103[081103] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0367-6234.2007.06.024

馆 藏 号：203134728...