电磁力驱动的光栅泰伯MOEMS加速度计设计与分析

作     者：罗戴钟 徐浩东 金丽 李孟委 LUO Daizhong;XU Haodong;JIN Li;LI Mengwei

作者机构：中北大学仪器与电子学院太原030051 中北大学前沿交叉科学研究院太原030051 

出 版 物：《舰船电子工程》 (Ship Electronic Engineering)

年 卷 期：2024年第44卷第6期

页      码：204-208页

摘      要：为提高MEMS加速度计灵敏度与线性工作范围,论文提出一种基于泰伯效应的双层衍射光栅透射式MOEMS加速度计,对其进行光学效应分析、结构与工艺设计。通过有限元分析,确定加速度计工作模态的固有频率为147.25Hz,结构灵敏度为11.5μm/g,光学检测线性范围为3.3μm。通过对结构施加预应力的方式,将加速度计线性工作范围提高4.75倍,为新型光栅加速度计的制造与测试奠定了理论基础。

主 题 词：加速度计 泰伯效应 双层光栅 工艺设计 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-9730.2024.06.041

馆 藏 号：203134774...