基于MEMS技术的多通道光开关研究

作     者：李栋 黎志刚 李流超 

作者机构：中国电子科技集团公司第三十四研究所广西桂林541004 

出 版 物：《轻工科技》 (Light Industry Science and Technology)

年 卷 期：2014年第30卷第8期

页      码：75-76,83页

摘      要：MEMS光开关是光通信、传感领域非常重要的一个光无源器件。本文对MEMS光开关技术及国内外发展进行综述,同时提出一种基于静电驱动MEMS技术的多通道光开关的设计方案。

主 题 词：MEMS 多通道 光开关 静电 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203135051...