制造业中气体监控系统的分析与设计

作     者：余兵 

作者机构：重庆勇钢电子机械有限责任公司 

出 版 物：《可编程控制器与工厂自动化（PLC FA）》 (Programmable controller & Factory Automation(PLC & FA))

年 卷 期：2004年第2期

页      码：63-65页

摘      要：在使用毒性或危险性气体的制造行业中，如何实现对这些特殊气体的有效监控显得特别重要。本文通过对半导体制造企业的气体监控系统的需求分析，设计了气体监控系统中的网络结构、监控软件功能以及报警系统。实践效果良好。

主 题 词：半导体制造业 气体监控系统 毒性气体 危险性气体 设计 

学科分类：083002[083002] 0830[工学-生物工程类] 08[工学] 

馆 藏 号：203135172...