像差预补偿的铌酸锂晶体内部激光直写(特邀)

作     者：王天新 张勇 Wang Tianxin;Zhang Yong

作者机构：固体微结构物理国家重点实验室江苏南京210093 南京大学现代工程与应用科学学院江苏南京210093 南京大学物理学院江苏南京210093 

基　　金：中央高校基本业务费(021314380226 021314380191) 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2024年第61卷第11期

页      码：1-7页

摘      要：集成光电器件正由传统的二维构型向全空间维度发展,激光直写凭借其独特的三维加工优势在全维度光子芯片的发展中发挥了重要的作用。铌酸锂是近年来受到广泛关注的高性能光电材料,但由于界面间的大折射率失配引入像差,极大地影响了在铌酸锂晶体内部三维激光直写的精度。基于自适应光学原理的像差补偿技术可以对激光光束进行精确的波前控制,为实现聚焦光斑的像差校正提供了可行方案。针对铌酸锂内部进行三维激光加工的特点,由点扩散函数出发设计了对像差进行预补偿的理论模型,搭建了基于空间光调制器的像差预补偿激光加工系统,在实际测试中表征并对比了像差补偿后的结构加工效果。结果表明,优化像差补偿参数后,在铌酸锂表面以下110μm深度范围内获得了均匀性良好、无明显聚焦次点的激光改性结构。这一方案为在铌酸锂晶体内部实现高质量、全维度、大深度激光直写提供了可行性。

主 题 词：铌酸锂 飞秒激光直写 自适应光学 像差校正 泽尼克多项式 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/LOP240597

馆 藏 号：203135386...