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一种新型椭偏测量实验——塞曼激光外差椭偏仪

一种新型椭偏测量实验——塞曼激光外差椭偏仪

作     者:邓元龙 孙秀泉 吴玉斌 

作者机构:深圳大学工程技术学院广东深圳518060 

基  金:深圳大学校科研和教改项目 

出 版 物:《物理通报》 (Physics Bulletin)

年 卷 期:2005年第26卷第10期

页      码:33-34页

摘      要:分析了大学物理实验中传统的消光式椭偏仪实验存在的问题,提出以一种新型外差式椭偏测量系统取代.结合塞曼激光外差干涉和反射式椭偏测量原理,给出了光学结构设计.系统中没有任何运动部件,也无需手动操作,实验过程自动化程度高,测量速度快.

主 题 词:物理实验 椭偏仪 外差干涉 薄膜测量 激光外差干涉 测量实验 塞曼 大学物理实验 测量系统 自动化程度 

学科分类:080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 081201[081201] 0812[工学-测绘类] 

D O I:10.3969/j.issn.0509-4038.2005.10.015

馆 藏 号:203136220...

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