0.35μm分辨率的远紫外投影光刻物镜

作     者：段立安 

作者机构：电子工业部第四十五研究所 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：1999年第28卷第1期

页      码：14-18页

摘      要：介绍一种２４８ｎｍ谱线投影光刻物镜光学设计结果，提出制造该镜头应解决的一些技术问题。

主 题 词：投影光刻物镜 光学设计 分辨率 投影仪 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0803[工学-仪器类] 

馆 藏 号：203136404...