一种栅型结构微机械陀螺的研究

作     者：熊斌 车录锋 王跃林 

作者机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 

基　　金：国家重点基础研究发展规划资助项目 (G19990 3 3 10 1) 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2003年第14卷第3期

页      码：184-186页

摘      要：介绍了一种新型结构微机械陀螺的设计及制作。新型陀螺的驱动振动和敏感检测振动的阻尼均为滑膜阻尼 ,且几乎相同 ,惯性质量块为栅型结构 ,由弹性悬臂梁支撑 ;驱动固定电极和敏感检测固定电极位于惯性质量块下方。分析了新型陀螺的工作特性 ,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影响。实验结果表明 ,在大气状态下 ,新型栅结构微机械陀螺的驱动和敏感检测品质因子 Q均可达到

主 题 词：栅型结构 微机械陀螺 动力学方程 角速度传感器 微机械加工技术 

学科分类：08[工学] 0825[工学-环境科学与工程类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-132X.2003.03.002

馆 藏 号：203136410...