Honeywell EPKS平台下实现四氯化硅氢化工艺程序控制

作     者：周万礼 黄庆鸿 张新红 ZHOU Wan-li;HUANG Qing-hong;ZHANG Xin-hong

作者机构：昆明冶研新材料股份有限公司云南曲靖655011 

出 版 物：《云南冶金》 (Yunnan Metallurgy)

年 卷 期：2013年第42卷第6期

页      码：46-49页

摘      要：改良西门子法生产多晶硅中,四氯化硅氢化工艺操作步骤繁琐且多为手动操作,很难将各项工艺指标进行精确控制。实际生产中,不断进行工艺优化及操作改进,现有Honeywell EPKS平台进行自动程序设计及应用,增加多项自动连锁控制,实现了工艺生产过程程序控制。

主 题 词：氢化工艺 EPKS 程序控制 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1006-0308.2013.06.011

馆 藏 号：203136548...