傅里叶合成照明中的光场均匀化技术研究

作     者：李慧 马钺洋 尹皓玉 韩晓泉 黄宇峰 吴晓斌 Li Hui;Ma Yueyang;Yin Haoyu;Han Xiaoquan;Huang Yufeng;Wu Xiaobin

作者机构：中国科学院微电子研究所光电技术研发中心北京100029 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家自然科学基金面上项目(62071464) 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2024年第61卷第15期

页      码：132-138页

摘      要：在傅里叶合成照明结构的基础上,通过引入高频MEMS(Micro-electro-mechanical system)振动微镜作为光场均匀化装置,在实现任意离轴照明模式的基础上,可以进一步改善照明视场光强的均匀性,提高成像分辨率,改进后的照明方法具有结构简单、易于操作等优点。设计了傅里叶合成照明与均匀化结构方案,建立了仿真模型,搭建实验装置从成像方面进行了均匀化效果验证。在此基础上,详细分析MEMS微镜振动振幅、频率对均匀化效果的影响,在选定照明区域内均匀性最大可提高11%以上。所提的傅里叶合成照明和光场均匀化方法适用于光刻掩模检测等领域的照明应用。

主 题 词：傅里叶合成照明 均匀性 振动微镜 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/LOP231676

馆 藏 号：203136935...