扫描电子显微镜隔振器中螺旋弹簧的最优化设计

作     者：邵健中 邹立 陆章超 朱祖福 

作者机构：浙江大学 上海电光所 

出 版 物：《机械设计与研究》 (Machine Design And Research)

年 卷 期：1993年第9卷第1期

页      码：28-30页

摘      要：一、引言 智能化高分辨力扫描电子显微镜DXS-4型是上海电子光学技术研究所正在研制的新型仪器。该仪器的主要技术指标—点分辨力为4nm,是当前国内最高水平,也是国际上采用钨阴极同类仪器80年代末期水平。决定扫描电子显微镜分辨力的因素,除了轰击样品的束斑直径和样品材料的组织结构外,还有来自地面的经常性振动而激起的样品相对于光轴的漂移。地面的低频经常性振动,其频率、

主 题 词：电子显微镜 隔振器 螺旋弹簧 设计 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.13952/j.cnki.jofmdr.1993.01.009

馆 藏 号：203137717...