折叠式激光投影光刻物镜的设计研究

作     者：李文静 周金运 林清华 LI Wen-jing;ZHOU Jin-yun;LIN Qing-hua

作者机构：广东工业大学物理与光电工程学院广东广州510006 

基　　金：广州市科技计划项目(2006Z3-D0041) 广东省自然科学基金(07001789) 

出 版 物：《光电工程》 (Opto-Electronic Engineering)

年 卷 期：2007年第34卷第9期

页      码：46-49,102页

摘      要：针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其投影系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析。对于设计的激光投影系统,其特征尺寸分辨力达到了9μm,全视场波像差小于λ/4,畸变小于0.000007%,这些指标符合实际要求。

主 题 词：印制电路板(PCB) 激光投影光刻 投影物镜 光学设计 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-501X.2007.09.010

馆 藏 号：203137815...