SU-8平面抛物形折射透镜的设计与研制

作     者：黄承超 徐垚 王占山 陈玲燕 田扬超 刘刚 HUANG Cheng-chao;XU Yao;WANG Zhan-shan;CHEN Ling-yan;TIAN Yang-chao;LIU Gang

作者机构：同济大学精密光学工程技术研究所上海200092 中国科技大学国家同步辐射实验室安徽合肥230029 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(10575076) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2007年第36卷第5期

页      码：671-674页

摘      要：作为应用于第三代同步辐射光源的一种重要X射线元件,复合折射透镜成为近年来X射线光学研究的热点之一。平面抛物形折射透镜是复合折射透镜的重要一种。研究过程中,考虑到X射线衍射仪的特定检测环境及随后加工上的技术要求,优化设计了透镜各个参数,用ZEMAX软件对透镜进行光线追迹,模拟验证了设计结果。单组透镜的几何孔径为250μm,焦距为30 cm。共设计30组透镜,透镜个数从1个变化到30个,相应的抛物形顶点处的曲率半径从1.23μm变化到37μm。在光子能量为8.05 keV条件下,透镜的理论透过率从43.3%变化到33.2%。焦斑直径均在微米量级。采用紫外光刻微加工技术,制作了SU-8光刻胶平面抛物形折射透镜。透镜厚度为224μm。透镜光学性能的测试正在进行中。

主 题 词：抛物形折射透镜 X射线 聚焦 X射线衍射仪 SU-8 紫外光刻 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-2276.2007.05.023

馆 藏 号：203137818...