基于辐射功率的微热板测温系统设计

作     者：漆奇 张彤 刘丽 刘奎学 徐宝琨 QI Qi;ZHANG Tong;LIU Li;LIU Kui-xue;XU Bao-kun

作者机构：吉林大学集成光电子学国家重点联合实验室 

基　　金：国家自然科学基金项目(60104006) 吉林省科技厅项目(20030322) 

出 版 物：《吉林大学学报（工学版）》 (Journal of Jilin University:Engineering and Technology Edition)

年 卷 期：2008年第38卷第4期

页      码：936-939页

摘      要：为了解决微小芯片表面测温的难题,设计了一种非接触式微区测温系统。首先利用光纤探头和光功率计测量微热板的辐射功率,再结合辐射功率与温度的关系,精确地测出微热板表面50μm×50μm区域内的温度。实验测试结果与利用有限元分析软件Ansys得到的模拟结果基本一致,并且更换不同口径的光纤探头可以满足不同面积的样品的测量要求。

主 题 词：半导体技术 微热板 温度 辐射功率 光功率计 光纤探头 

学科分类：07[理学] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.13229/j.cnki.jdxbgxb2008.04.046

馆 藏 号：203137839...