QF1基底上可见光区宽带增透膜研究

作     者：朱华新 刘桂林 高劲松 王彤彤 李帅 严慧敏 郭颖 李果华 

作者机构：江南大学理学院无锡214122 江南大学物联网工程学院无锡214122 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室长春130033 

出 版 物：《人工晶体学报》 (Journal of Synthetic Crystals)

年 卷 期：2013年第42卷第6期

页      码：1104-1108页

摘      要：本文以QF1为基底设计了一种宽带可见光区增透膜,即:增透波长0.4～0.8μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料。利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明平均透过率达98.43%,通过SEM的膜层截面证实膜层比设计略偏厚,导致测试透过率与设计相比略有红移,但实际样品的光学特性与设计结果基本相符,具有宽带的增透特性。环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度。该增透膜可以应用于可靠性要求较高的环境中。

主 题 词：光学薄膜 电子束蒸发物理气相沉积 透过率 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-985X.2013.06.020

馆 藏 号：203138071...