MOCVD计算机控制系统设计与实现

作     者：赵亚琪 

作者机构：渤海大学软件与服务外包学院 

出 版 物：《信息技术与信息化》 (Information Technology and Informatization)

年 卷 期：2015年第12期

页      码：32-34页

摘      要：金属有机化学气相沉积技术简称为MOCVD,MOCVD技术能够实现在衬底上生长材料晶体。随着计算机技术的发展,MOCVD计算机控制系统被研发出来,其改善了手工控制中的种种不便,实现了MOCVD生长过程的微机控制。基于以上,本文简要分析了MOCVD技术,并从硬件设计和软件设计两个方面研究了MOCVD计算机控制系统的设计与实现。

主 题 词：MOCVD 计算机控制系统 设计 实现 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 0835[0835] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-9528.2015.12.001

馆 藏 号：203138186...