用于扫描刻蚀加工的微悬臂梁优化设计

作     者：王海 童云华 夏小品 周荣荻 WANG Hai;TONG Yun-hua;XIA Xiao-pin;ZHOU Rong-di

作者机构：安徽工程大学机械与汽车工程学院安徽芜湖241000 安徽省先进数控和伺服驱动重点实验室安徽芜湖241000 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50605061 51175001) 安徽高校省级自然科学研究基金资助项目(KJ2012A033) 安徽省自然科学基金资助项目(11040606M144) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2012年第31卷第10期

页      码：109-112页

摘      要：扫描刻蚀加工是一种基于并行探针驱动、集成微小等离子体刻蚀原理的新型微纳米加工手段。特种悬臂梁是扫描刻蚀加工系统中的核心器件,其性能直接影响到系统的可靠性。该特种悬臂梁为集成压电陶瓷驱动薄膜的多层复合梁,在加工工艺过程中所引起的材料内部的残余应力,将导致复合梁加工释放后的弯曲变形,影响扫描刻蚀加工系统的性能。基于弹性薄板理论建立含残余应力项的多层复合梁的理论模型。利用有限元法对多层复合梁进行数值仿真,结合田口优化方法,对多层薄膜的厚度进行优化设计。

主 题 词：多层悬臂梁 残余应力 有限元法 优化设计 

学科分类：1305[艺术学-设计学类] 13[艺术学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2012.10.033

馆 藏 号：203138580...