大行程解耦微定位平台的设计与研究

作     者：胡高峰 逯俊体 贾传明 戚厚军 HU Gaofeng;LU Junti;JIA Chuanming;QI Houjun

作者机构：天津职业技术师范大学机械工程学院天津300222 天津市高速切削与精密加工重点实验室天津300222 

基　　金：天津市教委科研计划项目(2021KJ028) 天津市研究生科研创新项目(2022SKYZ017) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2024年第46卷第4期

页      码：555-561页

摘      要：针对目前研制的微定位平台行程小及耦合误差大等问题,提出了一种由压电作动器(PEA)驱动的二自由度微定位平台,设计了由二级杠杆放大机构和Scott-Russell机构串联组成的三级位移放大器,以扩大工作行程。采用平行轴式直圆型柔性铰链与并联构型的双复合式平行移动副消除运动耦合误差。通过有限元仿真和实验对平台性能进行了分析与测试。结果表明,设计的微定位平台工作行程超过170μm×170μm,耦合误差小于1.2%,位移分辨率可达5 nm,信号跟踪误差最大为2.16%,验证了微定位平台的定位精度和模型的正确性。

主 题 词：微定位平台 柔性机构 解耦XY平台 运动耦合误差 性能测试 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2024.04.023

馆 藏 号：203138889...