基于离子注入机的PFG控制系统设计

作     者：林萍 高瑞松 尚成国 

作者机构：北京烁科中科信电子装备有限公司 

出 版 物：《中国集成电路》 (China lntegrated Circuit)

年 卷 期：2024年第33卷第8期

页      码：46-51页

摘      要：PFG(Plasma Flood Gun),即等离子淋浴发生器,PFG控制系统的控制方式主要是通过硬件电路来实现的,该硬件电路可以自动调节到满足工艺所要求的弧流与灯丝电流。先前的控制方式是依靠软件赋值来调节灯丝电流与弧压电流,这样的控制方式存在抗干扰性差、调节时间长、稳态幅值波动大和灯丝熔断率高等问题。为解决上述问题,本文采用硬件闭环反馈调节的方式来控制灯丝电源和弧压电源,当通过上位机设定所需要的弧流及灯丝电流限制之后,此方法能简化操作方式、减少调整时间、提高稳态性能和减小灯丝损坏率,从而提高工作效率、提升经济效益。

主 题 词：控制器 弧压电源 灯丝电源 PFG闭环控制器 

学科分类：0808[工学-自动化类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1681-5289.2024.08.008

馆 藏 号：203138889...