薄膜材料弯曲测试方法的验证研究

作     者：黄鑫龙 李根梓 周龙飞 杨绍松 夏燕 董显山 来萍 夏长奉 宋辰阳 张晋熙 韩金哲 HUANG Xinlong;LI Genzi;ZHOU Longfei;YANG Shaosong;XIA Yan;DONG Xianshan;LAI Ping;XIA Changfeng;SONG Chenyang;ZHANG Jinxi;HAN Jinzhe

作者机构：工业和信息化部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术国家重点实验室广东广州511370 雁栖湖基础制造技术研究院(北京)有限公司北京101407 无锡华润上华科技有限公司江苏无锡214028 无锡芯感智半导体有限公司江苏无锡214000 苏州市质量和标准化院江苏苏州215000 

基　　金：国家重点研发计划(No.2022YFB3207105) 国家自然科学基金项目(No.U23A20638) 广东省重点领域研发计划(No.2022B0701180002) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2024年第46卷第4期

页      码：524-528页

摘      要：在国家标准《微机电系统(MEMS)技术薄膜材料的弯曲试验方法》制定阶段,为验证该标准中测试方法的准确性和实用性,设计并制备了4种尺寸的悬臂梁结构,并利用纳米力学测试系统记录其弯曲形变过程,获取了待测结构的形变-应力曲线。通过该标准可实现薄膜材料弯曲力学性能的有效表征。对弯曲试验的测量数据进行分析,实验结果表明,基于该测试方法10次的重复性达到0.32%,同类型的测试结构具有较强的规律性,靠近悬臂梁根部的测试点表现出更高的机械刚度,与理论预测完全一致。因此,该标准中所采用的弯曲测试方法可重复性好,可用于薄膜材料的弯曲力学性能测试。

主 题 词：薄膜材料 微机电系统 悬臂梁 力学测试 弯曲试验 国家标准 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2024.04.018

馆 藏 号：203138891...