低功耗检测CO_(2)的MEMS红外光源结构设计与仿真

作     者：滕雪松 禹胜林 魏志杰 房村 熊思娴 王梦婷 TENG Xuesong;YU Shenglin;WEI Zhijie;FANG Cun;XIONG Sixian;WANG Mengting

作者机构：南京信息工程大学电子与信息工程学院江苏南京210000 

出 版 物：《红外技术》 (Infrared Technology)

年 卷 期：2024年第46卷第8期

页      码：858-863页

摘      要：传统的二氧化碳传感器存在着体积大、功耗高等问题,近年来随着半导体技术和材料的发展,MEMS技术逐渐成为传感器的研究重点。研究并设计了一种适用于二氧化碳传感器的微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)红外光源芯片结构,采用硅(Si)作为基底,氧化硅(SiO_(2))-氮化硅(Si_(3)N_(4))-氧化硅(SiO_(2))作为红外光源的支撑层材料,辐射区的加热电阻采用延展性良好的铂(Pt),以铝(Al)为电极。光源的支撑层采用四轴大圆角悬空结构,极大减少了辐射区热量向衬底的热传导且稳定性较好,通过有限元仿真分析,该光源具有低功耗和结构稳固的特点。

主 题 词：微机械电子系统 红外光源 低功耗 稳固结构 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

馆 藏 号：203138904...