基于声子晶体的兰姆波谐振器品质因数改善机制研究

作     者：聂时进 孟光 郑凯 黄栋 刘钢 NIE Shijin;MENG Guang;ZHENG Kai;HUANG Dong;LIU Gang

作者机构：上海交通大学机械与动力工程学院上海200240 成都智远先进制造技术研究院有限公司四川成都610511 上海工程技术大学机械与汽车工程学院上海201620 

基　　金：四川天府峨眉计划资助 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2024年第46卷第4期

页      码：468-473页

摘      要：针对兰姆波谐振器谐振频率在超过6 GHz时传输损耗高的问题,提出了一种基于具有明显带隙的声子晶体(PnC)阵列的锚杆,能有效提高薄膜铌酸锂兰姆波谐振器(LWR)的品质因数(Q),从而降低兰姆波滤波器的插入损耗。通过构建PnC结构有限元仿真模型研究了PnC结构的色散关系,采用PnC延迟线模型设计,研究了PnC阵列的传输特性,并通过建立谐振器性能的对比分析。结果表明,在谐振频率稳定的条件下,与传统均匀梁锚杆谐振器相比,PnC阵列锚杆谐振器的Q值提升了5倍。

主 题 词：锚杆损耗 微机电系统(MEMS)谐振器 声子晶体 品质因数 兰姆波 

学科分类：080903[080903] 080904[080904] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2024.04.009

馆 藏 号：203138916...