基于光采样的光电子集成芯片片上在线测量(特邀)

作     者：邹新海 朱峻峰 敬超 李智慧 崔乃迪 冯俊波 张雅丽 张旨遥 刘永 张尚剑 祝宁华 Zou Xinhai;Zhu Junfeng;Jing Chao;Li Zhihui;Cui Naidi;Feng Junbo;Zhang Yali;Zhang Zhiyao;Liu Yong;Zhang Shangjian;Zhu Ninghua

作者机构：电子科技大学光电科学与工程学院四川成都611731 联合微电子中心重庆400031 雄安创新研究院河北保定071899 

基　　金：国家自然科学基金(61927821) 成都市科技项目(2024-YF06-00010-HZ) 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2024年第44卷第15期

页      码：535-544页

摘      要：光电子集成芯片正朝着超宽带、多功能、高密度方向发展,芯片测试表征贯穿设计、流片和封装过程,尤其是非侵入式无损伤的片上在线测量技术,该技术能够有效提高测试效率和芯片良率。提出基于光采样的光电子芯片片上在线测量方法,通过光采样上、下变频,分别对宽带电光调制器芯片和光电探测器芯片进行测试,借助光频梳的时频变换关系对光频梳的不平坦响应进行校准,利用微波二端口网络理论对适配网络的退化响应进行去嵌入,提取光电子芯片的本征频率响应参数。通过低频光电检测实现高频电光调制器芯片测试,通过窄带电光驱动实现宽带光电探测器芯片测试,测试过程中不会损伤晶圆,且不影响芯片的后续制备进程,为晶圆级光电子芯片在线测量提供技术方案。

主 题 词：集成光学 光电子学 电光调制器芯片 光电探测器芯片 晶圆级在线测量 光采样 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/AOS240856

馆 藏 号：203138937...